基于石墨烯的下一代核心半导体技术

大邱市京畿道科学技术院信息通信工程系DGIST(DGIST)开发了一种基于石墨烯的高性能传输线,比现有的高频金属具有更高的电子运行速度。

这将极大地推动下一代高速半导体和通信设备的发展,其处理速度将大大超过现有的半导体和通信设备。

DGIST宣布,Jae Eun Jang教授的团队在信息与通信工程系研究了单层石墨烯的高频传输特性,开发出了高性能的高频传输线,提高了石墨烯内部的器件浓度。

这一结果表明,高频传输的特性得到了极大的改善,可以替代高速半导体加工中使用的金属,有望在未来用作石墨烯传输线。

由于半导体器件的高集成度和高速度,器件间传输信号的金属线电阻呈几何级数增长,达到允许电流密度的极限。为了解决这个问题,碳基纳米结构,如石墨烯和碳纳米管,被认为是现有金属的替代品,并作为下一代新材料引起了人们的关注。

然而,石墨烯具有0.3 nm碳的非常薄的六边形阵列,电导率是铜的100倍,电子迁移率是硅的100倍。因此,它被认为是一种电子材料,可以取代现有的金属和半导体材料。而纯石墨烯的器件浓度太低,为1012 cm2,且具有纳米级的薄结构特征,导致石墨烯电阻较高。

为了克服这些限制,Jang的团队进行了一项研究,通过增加石墨烯内部器件的浓度来改善石墨烯的高频传输特性。通过石墨烯和无定形碳的结合,研究团队增加了石墨烯的器件浓度,增强了石墨烯的电学特性。石墨烯的高频透射率提高到-8dB,可以和几百纳米大小的金属纳米线相媲美。

该团队还证明了石墨烯的内部缺陷降低了石墨烯的高频传输,并开发了一种新的稳定的掺杂技术,以最大限度地减少内部缺陷。这种新的掺杂技术将石墨烯器件的浓度提高了两倍,1013cm2,并表现出稳定的热和电性能。

张教授研究团队研制的高频石墨烯传输线信号传输效率高,运行稳定,可应用于现有半导体行业和下一代集成电路中的金属布线加工。

信息通信工程系Jae Eun Jang教授表示:“除了设备技术,传输线也是半导体研究领域非常重要的技术。我们开发了一项核心基础技术,可以增强石墨烯的高频传输,可以作为下一代传输线。由于纳米工程、电子工程、物理等领域专家的研究成果,我们希望将石墨烯应用到MMIC、RFIC等高频电路中。

这项研究得到了韩国科技部、ICT部和韩国国家研究基金基础研究项目的支持,并被选为先进功能材料的封面论文。