电容式mems加速度传感器的原理是什么？

MEMS加速度传感器是一种微机电系统(MEMS)，由可移动悬臂梁、静电容器和固定基座组成。悬臂梁上的电容会因外界加速度而发生位移，从而改变电容中的电荷分布。放置在底座上的电容不会受到外界加速度的影响，所以电容中的电荷分布保持不变。

当悬臂梁受到外界加速度时，电容中的电荷分布会发生变化，从而导致电容中电荷的变化，从而产生电压差。该电压差与外部加速度成正比，因此可以通过测量该电压差来计算外部加速度。

电容式MEMS加速度传感器的优势在于制造成本低，并且可以通过改变电容的大小来调节传感器的灵敏度。缺点是精度低，易受温度影响。