薄纸

虽然上面介绍的光刻模拟的研究、开发和制造应用给出了基于时间、成本和能力的建模的充分益处，但是模拟的潜在能力是其作为学习工具的能力。

尽管如上所述，模拟光刻在研究、开发和制造应用中的优势已经通过时间、成本和性能得到证明，但是模拟的潜力在于其作为学习工具的能力。

建模的正确应用允许用户高效和有效地学习。

正确使用模拟可以让用户更加得心应手。

这是真实的原因有很多。

有几个原因可以解释这一点。

首先，模拟的速度与

实验使反馈更加及时。

首先，与实验相比，模拟的反馈速度更及时。

因为学习是一个循环(一个想法，一个实验，一个测量，然后与最初的想法比较)，更快的反馈允许更多的学习循环。

因为学习是一个循环(一个想法，一个实验，一次测量，和原来的比较)，更快的反馈可以赢得更多的学习循环。

因为模拟非常便宜，所以有更少的限制和更多的机会去探索想法。

而且模拟成本低，限制少，尝试的机会多。

而且，正如研究应用程序向我们展示的那样，对“实验”有更少的物理限制

可以执行。

正如研究和应用的结果告诉我们的那样，对什么样的实验有较少的物理限制。

所有这些因素允许使用建模来获得对光刻的理解。

所有这些模拟技术的应用使我们对光刻有了更好的了解。

无论是学习基本概念还是探索微妙的细微差别，提高知识的价值都不会被夸大。

无论是学习基本的理论原理，还是探索材料的细微差异，提高知识的价值都不可高估。

在接下来的章节中，将更详细地探讨光刻模拟在制造中的应用。

在下面的部分中，将会发现更多关于模拟光刻在制造中的应用的重要细节。

2.光刻模拟在制造业中的应用

2.模拟光刻技术在制造业中的应用。

A.薄膜堆栈优化

A.薄膜堆栈优化

出于多种原因，薄膜叠层优化是光刻模拟在制造环境中最经常使用的方法。

出于以下原因，模拟光刻最常用于制造环境中的膜堆叠的优化。

首先，膜叠层在制造厂中频繁变化，除了底部抗反射涂层(BARC)和抗蚀剂，该膜叠层不受光刻控制

团体。

首先，在fab中，薄膜堆叠经常改变。与底部抗反射涂层和抗蚀剂不同，这种膜叠层不受光刻控制。

因此，光刻组必须通过调整光刻工艺来响应这些薄膜叠层的变化。

因此，平版印刷集群必须根据这些胶片堆叠的变化来调整平版印刷过程。

从光刻的观点来看，最重要的薄膜叠层特性是基底的反射率。

从光刻的观点来看，薄膜叠层最重要的部分是光敏基底的反射率。

不幸的是，当涂覆有抗蚀剂时，没有办法测量基板的反射率(基板在空气中的反射率对于该应用没有意义)。

不希望的是，如果光敏基底涂有一层抗腐蚀剂，那么测量光敏基底在空气中的反射率是没有意义的。)不可能测量光敏基底的反射率。

因此，所有BARC优化工作都需要使用模拟。

因此，所有的BARC优化工作都需要模拟技术的应用。

反过来，这种模拟需要精确测量BARC光学参数(厚度，n & amp；k)。

此外，这种模拟技术需要光学参数(厚度，n，& amp；k)精确测量。