压电式压力传感器和压阻式压力传感器的区别~
1,工作原理不同
压阻式压力传感器由单晶硅的压阻效应组成。
压电式压力传感器大多由正压电效应制成。
2.不同的侧重点
压电压力传感器当晶体受到固定方向的外力作用时,内部发生极化现象,两个表面同时产生符号相反的电荷;当外力撤除后,晶体回到不带电状态;当外力方向改变时,电荷的极性也随之改变;晶体上的力所产生的电荷量与外力的大小成正比。
压阻式压力传感器采用单晶硅作为弹性元件。在单晶硅振膜上,利用集成电路技术在单晶硅的特定方向上扩散一组等效电阻,将电阻连接成一个电桥。单晶硅晶片被放置在传感器腔中。当压力变化时,单晶硅产生应变,使直接扩散在其上的应变电阻与测得的压力成正比变化,然后通过桥式电路得到相应的电压输出信号。
3.不同的结构
压电压力传感器基于压电效应的压力传感器。它的种类和型号很多,根据弹性敏感元件的形式和受力机理可分为膜片式和活塞式。膜片式主要由本体、膜片和压电元件组成。
压阻式传感器采用集成技术将电阻条集成在单晶硅膜片上制成硅压阻芯片,该芯片外围固定封装在外壳内,电极引线引出。
百度百科-压阻压力传感器
百度百科-压电压力传感器