体微加工是什么意思？

中文翻译

体微机械加工

散装:n. 1。体积，体积，大小。2.巨大；一个怪物；大块大块；...

示例和用法

1.本文介绍了体微加工技术，重点阐述了这种光开关的制作工艺

本文在阐述常用微机械加工技术的基础上，重点研究了这种微机械光开关的制作工艺。

2.与表面微加工工艺相比，体微加工工艺制作的电容式加速度计具有大的敏感质量、小的噪声和高的分辨率

表面微机械电容式传感器具有敏感质量小、热机械噪声大、分辨率高等优点。

3.。5 .通过表面微加工和体微加工，制备了特性阻抗分别为120和50的样品。通过设计和制造已经仔细考虑了应力松弛，以获得具有最低应力的结构

采用混合刻蚀工艺制作了v型槽mems***平面波导，其中特性阻抗为50的传输线采用体硅加工技术实现，特性阻抗为120的传输线采用表面微加工技术实现。

4.针对硅微机械加工的音叉振动陀螺仪，引入随机有限元法中的矩阵摄动技术，分析了音叉振动陀螺仪固有频率和输出电容的统计特性

基于随机扰动技术，定量计算了音叉振动微机械陀螺固有频率变化和检测输出电容变化的统计特性，用概率的思想表达了微机械陀螺批量加工带来的材料尺寸随机误差对其性能的影响。

5.本文是电子科技大学课题“微型惯性测量单元的设计与研究”的一部分。通过对微机电系统和微机电加速度传感器的研究，本课题将完成一系列的微惯性测量组合系统，应用于火箭和导弹制导系统。本论文主要包括以下几个方面:研究目前成熟的mems加工技术，开发一种结构简单、基于一套新型硅体微加工工艺的电容式加速度传感器

本论文来源于电子科技大学机械与电子工程学院的项目“mems惯性组合的设计与研究”。本课题希望通过对mems技术和mems惯性传感器的研究，开发设计出一系列可用于火箭和导弹制导的mimu系统。主要工作如下:研究了成熟的mems加工技术，提出了一种基于各向异性硅微加工技术的结构简单的电容式加速度传感器。

6.设计了基于硅体微加工的微夹钳制作工艺。重点讨论了icp中的基脚效应和滞后效应以及键合失效。成功地释放了6 m宽、等效长度为5471 m的悬臂式夹持指。测试了梳齿驱动静电驱动微夹持器的特性

进行了大量的工艺试验和分析，特别是对大深宽比超长悬臂夹持臂和梳状驱动结构进行了深入研究，解决了微细加工技术中的关键技术。