蓝宝石衬底上的碳化硅
碳化硅衬底上LED芯片的电极(美国CREE公司专门用SiC材料做衬底)是L型电极,电流纵向流动。用这种衬底制作的器件具有非常好的导电性和导热性,有利于制作大面积大功率器件。
碳化硅衬底的热导率(碳化硅的热导率为490 W/(m·k))是蓝宝石衬底的10倍。蓝宝石本身是热的不良导体,器件底部需要用银胶固定,传热性能差。使用碳化硅衬底的芯片电极呈L形,两个电极分布在器件的表面和底部,产生的热量可以通过电极直接导出;同时,这种衬底不需要电流扩散层,所以光不会被电流扩散层的材料吸收,提高了光提取效率。但是,与蓝宝石衬底相比,碳化硅的制造成本更高,需要降低相应的成本才能实现其商业化。